一、什么是锁相红外

　　凡是高于绝对零度的物质都会向外辐射红外线。黑体的光谱辐射出射度公式为:

　　图1不同温度的黑体光谱辐射出射度曲线

　　物质辐射出的红外信号通常可以用红外热像仪探测到。锁相红外探测技术，是一种通过对被测样品施加周期性的激励(比如电压、电流、热波、微波等)，利用红外热像仪采集一系列的红外图像，通过傅立叶分析得到被测样品上微弱的发热信号的技术。这种红外图像处理技术与常用的锁相放大器的信号处理技术相类似，因此称之为锁相红外探测技术。锁相红外的数据结果包含强度数据和相位数据，强度数据代表外部的周期性激励引起的温度变化，相位教据代表外部的周期性激励与发热过程之前的延迟信息，相位数据通常用来计算发热区域在样品中的深度位置，以及样品上热扩散的过程。

　　二、什么是非制冷锁相红外

　　锁相红外的测量依赖有温度测量能力的热像仪，目前使用的热像仪可分为制冷红外相机和非制冷红外相机。制冷红外相机的探测波段为3~5微米，由于该波段的红外探测器需要-196℃的工作环境，因此搭配制冷机才能工作，从而得名制冷红外相机，测温精度可达到20mK。非制冷红外相机的探测波段为8~14微米，该波段的红外探测器可以在室温工作(探测器通常为氧化钒或者非晶硅)，无需制冷机为探测器降温，因此，称之为非制冷红外相机，测温精度达60mK。在半导体工业应用中，电路板的漏电大功率元器件的漏电可以用非制冷锁相红外来探测。非制冷锁相红外的优势是整机价格较低，相机寿命极长(连续开机情况下，大于5年)，工作时无噪音;但是，非制冷相机探测长波段区域，高分辨率为10微米左右。对于样品尺寸较大的用户，非制冷锁相红外是一项高性价比的选择。在锁相模式下，制冷锁相红外的温度分辨能力<0.1mK，非制冷锁相红外的温度分辨能力<1mK。

非制冷锁相红外成像系统

       三、非制冷锁相红外成像系统

　　拥有自主编写的系统控制软件、各种不同配置的非制冷锁相红外成像系统，既能满足客户对器件表面温度的测量需求，又能满足客户对失效器件热点的抓取需求。

　　此外，还可以选配加热台、电动XYZ运动控制系统、磁场、微波等测量条件，提供全国产供应链的深度定制服务。

       四、非制冷锁相红外的案例

图3 失效器件图与热点图的善加图像
测量条件:物镜0.85X，电压2.7V，锁相频率25HZ


图4 失效器件图与热点图的善加图像
测量条件:物镜WA，电压150.10V，电流781.50 A，锁相频率1HZ